分院系统工程院院士

徐元森

Xu Yuansen

  (1926.05.22-2013.03.27)微电子及冶金专家,浙江省江山县人。1950年毕业于浙江大学。中国科学院上海冶金研究所研究员。曾任该所研究室主任。20世纪50年代在球墨铸铁、包头和攀枝花等复杂铁矿石冶炼及超纯金属提纯等项目中,应用冶金学和物理化学原理出色地完成国家重大建设中的科研任务,解决了炼铁史上含钛和含氟铁矿冶炼的两大难题,丰富了炼铁学和冶金过程物理化学,3次获国家自然科学奖。近30年来,致力于微电子领域的开拓,先后研制成功3种器件隔离方法以及泡发射区、双层金属布线、全离子注入等工艺技术。开发成功DTL、TTL、ECL、EPROM、NMOS、CMOS等系列集成电路100余种。其研究成果被国内许多工厂、学校采用。为装备国产大型计算机作出了贡献,获1985年国家科技进步奖一等奖。1990年后深入研究高速砷化镓门阵列和超大规模集成电路,获得多项发明。