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化学部

沈天慧

Shen Tianhui

　　(1923.04.27—2011.01.02)女，半导体化学家，浙江嘉善人。1949年上海大同大学化工系毕业。毕业后，在中国科学院从事分析化学工作。1957—1959年留学苏联，进修半导体材料。回国后，在中国科学院长春应用化学研究所开展用三氯氢硅法制纯硅的研究工作。1966—1986年在陕西省临潼县航天工业部七七一研究所，从事中导体材料及大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面 N沟硅栅MOS工艺研制出大规模集成电路数种，当时在国内处于领先地位。1987年迄今，任上海交通大学教授、学术委员会委员，在信息存储中心参加磁头磁盘的研制工作。